23.　マイクロ・ナノ工学

23・1　マイクロ・ナノ工学概観

期待感が膨らむIoT（Internet of Things）において，様々な情報を取得するのはマイクロ・ナノ工学に基づく様々なセンサーであり，IoTの普及と発展の鍵はセンサー技術にある．最近，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）のウェハレベル・パッケージング技術が進歩し，いくつかのプロセス・プラットフォームに基づいて，センサーの小形化・複合化・集積化が急速に進んでいる．また，IoTにおいて「もの」は主に無線通信によって繋がるが，無線通信の根幹である周波数制御も機械的共振をともなうマイクロデバイスによってなされている．具体的には，周波数を選択するFBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）フィルター，および周波数基準となるMEMSタイミング・オシレーターが，それぞれSAW（Surface Acoustic Wave）フィルター，および水晶発振器とともに携帯電話やスマートフォンに大量に使われており，特にFBARフィルターの需要が急速に増えている．2020年には5 GHzや28 GHzといった高い周波数を用いる第5世代通信の実用化が計画されているため，これらの周波数選択・制御デバイスには格段の技術的進歩が求められている．

最近，人工知能（AI）やディープ・ラーニングの研究がブームを見せているが，その中でも急速に普及しつつある応用が音声認識である．既にスマートフォンには音声認識アプリケーションが標準で搭載されている．これを担うセンサーはMEMSマイクロフォンであるが，最新のスマートフォンには1台あたり4つ搭載されている．また，Appleの無線イヤフォンAirPodsには，片耳に2つずつMEMSマイクロフォンが搭載されており，音声認識による操作を可能にしている．Amazon Echo，Google Home，LINE WAVEなどの対話型端末も登場し，また，これらに用いられる対話AIが自動車や家電にも適用され，今年は「音声認識元年」とも言うべき節目である．上述の対話型端末に代表される音声認識応用の拡大によって，MEMSマイクロフォンにはさらなる高性能が求められるため，現在，その研究開発が盛んである．

自動車に関しては，自動運転の研究開発が活性化し，今後，段階的に実用化も進むと期待される．自動運転のためには様々なセンサーが必要であり，マイクロ・ナノ工学の果たす役割は大きい．たとえば，従来のものより1～2桁高性能化されたジャイロスコープが必要になるため，それをMEMSで実現する研究開発が進められている．高性能ジャイロスコープはロボットやドローンにも必要である．自動車のレーザー・ヘッドライト，LIDAR（Light Detection and Ranging），ヘッドアップ・ディスプレイなどのために，マイクロミラーデバイスの研究開発も多くの機関で行われている．

将来の基盤技術として機械工学的ナノテクノロジーでは，材料力学，流体工学，熱力学などに関する新しい研究の萌芽や多様化が見られつつある．将来の産業に結びつくものとしては，たとえば，新しい太陽電池や二次電池の研究開発において，機械工学的ナノテクノロジーの果たす役割は大きい．その他，生命科学や医学の発展に寄与するツール，安心・安全の根幹をなすデバイスの信頼性，新機能を発現しうるナノ材料の機械的物性などに関する研究も盛んである．

マイクロ・ナノ工学部門主催による日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウムは，これらの新しい研究成果が一同に集まる機会であり，電気学会や応用物理学会などと学会を跨いで多数の研究者が参加し，活発な議論がなされている．昨年は，本部門が単独でInternational Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016を東京大学で開催し，活発な研究発表と議論が行われた．

マイクロ・ナノ工学の研究開発のための重要な仕組みとして，MEMSなどのデバイスや各種微細構造を作製できる装置群とクリーンルーム環境の共用化が行われている．現在，文部科学省ナノテクノロジー・プラットフォーム事業の支援を受けて，東北大学，京都大学，東京大学，早稲田大学などの大学，および産業技術総合研究所，物質材料研究機構などの公的研究機関に，一般利用可能な共用施設が整備され，多くの利用者がある．また，これらの共用施設を運営にかかわる研究室では，産学連携研究が盛んに行われている．場の整備と研究開発が両輪になって新しいマイクロ・ナノ技術が数多く生み出され，我が国のマイクロ・ナノ工学が活性化することを期待したい．

〔田中　秀治　東北大学〕

23・2　三次元の微細形状創製技術

日本機械学会の論文4誌（日本機械学会論文集，Mechanical Engineering Journal，Mechanical Engineering Letters，Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing）において，2016年に三次元微細形状創製技術に関連した論文は，10編以上掲載されている．研究内容は多岐に亘り，具体的には，表面構造や表面改質処理技術[1, 2]，機械加工やレーザを用いた微細穴加工技術[3, 4]，ナノ粒子を用いた金属配線技術[5]，スパッタエッチングによる微細突起物創製技術[6]，マイクロバイオデバイス製造技術[7]，粒子の自己組織化技術[8]，機械研磨とプラズマエッチングによる超平坦化技術[9]などに関する成果が報告された．

2016年にマイクロ・ナノ工学部門が主催した国際会議International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016において，三次元微細形状創製技術に関連した口頭発表は10件あった．ナノポーラス電極の製造方法[10]，ポーラスシリコンの超精密加工[11]，微細形状を有するモールドの製造法[12, 13]，フェムト秒レーザによるパターニング[14]，ナノ金属の接合技術[15, 16]，シリコーンエラストマの3次元微細構造造形技術[17]，ロールタイプスタンピング技術[18]，磁力によるマイクロ部品の組み立て技術[19]の発表があり，微細形状創製に関しては，各研究機関の特徴を活かし，幅広い研究が展開されていることがわかる．

次に，日本機械学会に関連するもの以外で，興味深い研究成果をいくつか紹介する．レーザ加工分野では，フェムト秒レーザや干渉パターンによる微細表面パターン形成技術に関する報告が多く，たとえば，Salvotoreらは，引き伸ばしたエラストマーにフェムト秒レーザでパターニングを施し，元の状態に戻すことでナノパターンを形成する手法について報告している[20]．そのほかにも，Valentinらは，直接レーザ干渉パターン形成法による高分子および金属の高速表面レーザパターニングに関する研究成果を報告している[21]．リソグラフィー分野において，Zhouらは，三次元物体上にナノ・マイクロ構造を製作するスパンラップアライメントナノファイバーリソグラフィー技術を開発し，数十ナノから数マイクロメートルオーダのパターニングを円柱や双曲線形状の物体表面に施すことができることを実証している[22]．バイオ分野でも人工組織の小型化に向け三次元微細形状創製技術に関する研究は盛んである．たとえば，Benoitらは迅速T型片持梁製造法を開発し，マイクロウェルアレイを3時間未満で製造できることを示し，これを用いて微小組織の生成にも成功している[23]．

〔柿沼　康弘　慶應義塾大学〕

23・3　マイクロ・ナノマテリアル

半導体加工技術に代表されるトップダウン技術の近年の進化は目覚しく，数ミクロンサイズの機械部品をもつMEMSやサブミクロン～数十nmサイズの超微細部品の高精細一括加工が可能となり，多くの民生品に使われている．例えばゲームコントローラーや自動車には多くのセンサデバイスが使われており，これらの多くは半導体加工技術の恩恵を受けている．このような小型デバイスの性能・信頼性向上には構成材料の使用寸法下での材料物性計測が不可欠であり，得られた材料物性をできるだけ正確に設計に反映させる必要がある．2016年度，日本機械学会年次大会では「マイクロ・ナノ機械の信頼性」ならびに「マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用」のセッションでは，小型デバイスの機械信頼性に係るマイクロ・ナノマテリアル関連トピックとして，宍戸らによる「曲げ試験による誘起薄膜トランジスタの信頼性評価」[1]，張らによる「サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験」[2]，上杉らによる「（110）シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響」[3]，安部らによる「薄膜金属ガラスを用いたマイクロ構造体の内部応力制御」[4]等があった．これらはいずれも小型デバイス構成材料の微小寸法下での物性解明を目指した研究であり，微小材料評価には高度な実験技術が不可欠な印象である．国際会議MNC2016では，類似の研究報告として，D. Yamaneらによる「Young's Modulus Evaluation of Electroplated Ti/Au Structures for MEMS Devices」[5]やG. Inaらによる「Characterization and Fabrication Damage Investigation of Silicon Nanowires Based on Four-Different Sample Preparation Techniques」[6]等があった．MEMS技術を用いて薄膜やサブミクロン～ナノサイズの材料試験片を作製することは微小材料試験研究におけるトレンドであり，これに対して実験者の独自技術で負荷を与える技術研究の発表が多く見られた．他には，機能性材料を使った基礎・応用研究が国内外の会議で多く見られた[7, 8]．

一方，微小材料製法としてボトムアップ技術も飛躍的に進歩している．例えば次世代のフレキシブルデバイスへの応用が期待されているカーボン材料では，G. Povieらによるカーボンナノベルトの合成実現は注目すべき成果であり，宇宙エレベーター建設実現に向けた第一歩と期待できる[9]．他にはグラフェンやシリセン等の単層ナノ材料の研究も多く見られた．マイクロ・ナノマテリアル研究では材料を作る技術と計測・評価する技術に係る研究があり，これら双方の技術レベルの向上がこれからの微小マテリアル分野を支えることは言うまでもない．すなわち，材料，加工，計測，分析等の基礎技術のボトムアップと融合がマイクロ・ナノマテリアルの未知の物性解明と応用研究には重要で，分野を超えた研究者の密なコラボレーションに期待する．

〔生津　資大　愛知工業大学〕

23・4　マイクロ・ナノ熱流体

マイクロ・ナノ熱流体は，多くの物理化学センサやバイオ・医療応用技術，マイクロ・ナノデバイス内外の熱・物質輸送を扱う領域である．例えば，Web of Scienceでのキーワード検索では，「microfluidics」に関するものが2016年は1 700件強で，ここ数年間，年100編程度ずつ着実に増えてきている一方，「nanofluidics」は年間約100件程度で安定しており，規模と傾向は異なる．また，近年特に盛んなライフサイエンス・医療分野への展開を含めると，実際の研究の裾野はさらに広がっていることが推測される．熱に関しては，「phonon thermal」をキーワードとした論文は1 000件程度と，フォノンエンジニアリングに代表されるナノ熱工学が非常に盛り上がっている．

当該分野での国内での講演会としては，マイクロ・ナノ工学部門主催の国際シンポジウムであるInternational Symposium on Micro-Nano Science and Technologyが12月に東京で開催された．流体に関しては，界面導電流動，誘電泳動や熱泳動を用いたマイクロ流体中での微小物質輸送，光放射圧を用いた攪拌器などが，熱に関しては，界面熱抵抗やエナジーハーベスティング，フォノン伝導と熱伝導に関する研究などが見られた[1]．分野における対象スケールの違いを比較すると，流体に関してはマイクロスケールの研究が，熱に関してはナノスケールの研究が多い点が興味深く，ベクトルとしては，流体が応用に近いデバイス開発を目指し，熱が基礎からデバイス性能を変える方向を目指す，という傾向があるように思われる．また，9月に九州で開催された年次大会では，マイクロ・ナノ医療デバイスに関するワークショップや，マイクロ・ナノスケールの熱流体現象に関するOSが企画された[2]．

国外では，当該分野最大の国際会議であるMicroTASが10月にアイルランドのダブリンで開催された．そこでは，ライフサイエンス分野での応用に関する発表を中心として，最近の傾向である実用ベースのマイクロ流体デバイスに関する研究が多く，音響による物質操作や液滴ベースのマイクロ流体デバイスに関する発表も多い[3]．他には，プラズモニクスとナノ流体を組み合わせた単分子検出や紙ベース分析機器に関する発表がここ数年著しく増えている印象を受ける．紙は操作性・生産性に優れるため[4]，電気センサの印刷による統合化[5]などの要素技術が整った段階で，今後ますます実用に向けた研究が進められることが予想される．他に，11月にポートランドで開催されたアメリカ物理学会の流体力学部門講演会では，カーボンナノチューブ内の液滴輸送や界面の詳細なモデリングに関する研究など，より基礎的な実験や解析に関する研究発表が多かった．

〔元祐　昌廣　東京理科大学〕

23・5　バイオ・医療MEMS

1995年に第一回のMicroTAS国際会議が行われて約20年が経過したが，近年では商用製品に広く用いられるようになってきた．Stanford大のStephen Quakeのマイクロ流体制御技術[1]を用いたシングルセルゲノミクスのためのシステムが2006年にリリースされてから久しいが，最近ではUCLA大のCJ Kimが長年研究を続けてきたEWOD技術（電気的な濡れ性制御を用いた液滴操作技術）[2]を用いたゲノムシーケンス用のライブラリ調整システムもillumina社より発表された．また，マイクロ流路で作製した均一ドロップレットを用いたデジタルPCR（DNA/RNA分子の絶対定量）[3]装置も複数の企業より販売されている．このように，MicroTASの研究分野から生まれた代表的な流体制御技術は，産業界にも広く市民権を得たといってよいだろう．上に挙げたのは米国発の例であるが，日本からもナノギャップを用いた高速DNAシーケンサや種々のシングルセルのピッキング装置，ソーティング装置など，多くの分析・解析装置が相次いで市場投入され，活況の様相を呈している．国内外の関連学会では，医学や生物学分野の研究者との共同による応用研究の割合が大きくなってきており，ある意味，学術としてのバイオ・化学チップの基礎技術の研究は一定の役割を果たしたという見方もできるかもしれない．

では，バイオ・医療MEMS研究者たちは，現在どのような方向性で研究を進めているのであろうか．MicroTAS 2006国際学会の発表タイトルに頻出するキーワードより探ってみると，①ナノ（ナノ流路，ナノ粒子），②シングルセル，そして③低コスト化デバイス，の3つの大きなトレンドがあることがわかる．①のナノスケールにおける現象は，スタンダードな計測技術が確立していないこともあり，物理化学的研究のフロンティアである[4]．流路などの材料表面におけるイオン種やバイオ分子の濃度変化（濃縮や希釈）[5]や，分子の結合解離ダイナミクス[6]がバルクとは違ってくるため，これらの現象を利用した高感度の検出技術等への応用が期待されている．細胞とナノ粒子の相互作用も近年重要な研究対象である[7]．②では，マイクロ加工技術のスケールが単一細胞（真核生物の細胞で10ミクロン前後，原核細胞では1ミクロン程度）のスケールと一致し，相性が良いため，様々な応用研究が進められている．細胞種による分離[8]，薬剤などの応答のモニタリング[9]，また遺伝子発現や遺伝子配列[10]などが主要な解析対象である．メカノタイピングと呼ばれる，単一細胞の機械的性質を高速に検査する技術も注目されている[11]．最後に，③の低コスト化デバイスには，ポイントオブケア（POC），ペーパー（紙）マイクロデバイス，そして3Dプリンティングといったキーワードが含まれる．紙を媒体とした溶液操作デバイス，または近年安価に入手可能となった3Dプリンタを使ったデバイスにより，全血からのウィルスや病原菌の検出[12]，血球カウント[13]，グルコースなどのセンシング[14]といった患者のモニタリングに必要な，実用化・普及に向けた簡易デバイスが次々と発表されている．

2016年に東京で開催されたマイクロ・ナノ工学国際シンポジウム（MNST 2016）では，Molecular & Cell BiologyおよびBiomedical & Diagnostic Applicationsと冠したセッションが設けられ，合計12件の口頭発表の他に15件のポスター発表があり，活発な議論が行われた．

今後も，ナノ領域での学術的な研究と，応用に向けた実用的な研究（検査や診断の並列化，ハイスループット化，高密度化，多機能・高機能化，低コスト化）との方向性が継続すると予想され，マイクロ流体デバイスが身近に利用される機会が増えていくであろう．

〔鈴木　宏明　中央大学〕

23・6　IoT

IoT（Internet of Things: もののインターネット）は，あらゆるモノをインターネットで結ぶということを意味し，IoE（Internet of Everything）などとも呼ばれている．物理的には全てのものがインターネットを介して通信できる装置を備えていることを意味し，さらには通信によりやり取りする何らかの情報を保有しているか発信することを意味している．

ものの属性を情報として保有しており，これをコンテンツとして通信をする場合は，従来のRF-IDタグの概念と殆ど変らない．ものにセンサを取り付け，あるいはセンサそのものがインターネットと接続される場合はセンサネットワークと呼ばれ，工場設備のメインテナンス・オペレーションの低コスト化や高効率化および地球環境保護などの目的で使用されることが検討されている．

特に前者では，米国ではIndustrial internet，ヨーロッパではドイツを中心にIndutrie 4.0と称されて，製造業の革新を目指し，各種工場設備のメインテナンスなどに用いられようとしている．日本では，サイバー空間とフィジカル空間（現実社会）が高度に融合した「超スマート社会」を未来社会Society5.0として2016年1月に閣議決定された第五期科学技術基本計画にて規定し，欧米に対抗しようとしている．しかし何れも，まだ緒についたばかりであるが，いくつかの例も見られる．例えばGEではジェットエンジンに各種のセンサを取り付け，地上の基地に居ながらにして飛行中のジェットエンジンのセンサ情報により状態を把握している．これらは未然の事故防止や欠航などの防止に役立っており，コスト削減と信用力向上に大きく役立っていると言われている．

センサネットワークにかかわるマイクロセンサに関連する国際会議は，IEEE Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems（Transducers），IEEE Micro Electro Mechanical Systems（MEMS），日本機械学会Int. Sym. Micro-Nano Science and Technologyなどであり，国内会議では本学会の他に電子情報通信学会，電気学会，応用物理学会などで発表が多い．この他，ビジネス，技術等の多方面から総合的にMEMS Engineer Forum（毎年開催），Trillion Sensors（適宜開催）などで議論されている．

〔桑野　博喜　東北大学〕

23・2の文献

[ 1 ]
一廼穗直聡, 村田順二, 谷泰弘, 張宇, 複合砥粒を用いた研磨に適した研磨パッドの表面構造, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.835（2016）, DOI: 10.1299/​transjsme.15-00447.
[ 2 ]
佐藤運海, 川久保英樹, Na2SO4電解酸化水を用いた45パーマロイ材の表面改質処理, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.833（2016）, DOI: 10.1299/​transjsme.15-00257.
[ 3 ]
吉村博仁, 片平雄, 渡邉英人, 山下泰樹, プリント配線板の微小径穴あけ加工におけるドリル回転数および工具摩耗が切りくず排出性におよぼす影響, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.834（2016）, DOI: 10.1299/​transjsme.15-00463.
[ 4 ]
廣垣俊樹, 青山栄一, 小川圭二, 恩地駿, 五百住宗高, 高放熱性プリント基板のダイレクトレーザ加工における高速度カメラによるモニタリングに基づく止まり穴品質の制御方法, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.836（2016）, DOI: 10.1299/​transjsme.15-00491.
[ 5 ]
古志知也, 岩瀬英治, 金属ナノ粒子の電界トラップを用いた自己修復型金属配線の粒径依存性, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.834（2016）, DOI: 10.1299/​transjsme.15-00470.
[ 6 ]
中佐啓治郎, 山本旭宏, 王栄光, 李木経孝, ステンレス鋼のスパッタエッチングにより形成した多機能微細突起物の圧縮強度におよぼすプラズマ窒化の影響, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.838（2016）, DOI: 10.1299/​transjsme.16-00059.
[ 7 ]
Yuma Suzuki, Ewelina Pabjanczyk-wlazlo, Jungo Onoda, Tetsuhide Shimizu and Ming Yang, Fabrication and evaluation of micro-structured reaction field with vertically aligned carbon nanotubes for micro bio-analysis device, Mechanical Engineering Journal, Vol.3, No.2,（2016）, DOI: 10.1299/​mej.15-00567.
[ 8 ]
Iwori Takeda, Shogo Serizawa and Arata Kaneko, Fabrication of micro-structured scaffold using self-assembled particles and effects of surface geometries on cell adhesion, Mechanical Engineering Journal, Vol.3, No.1（2016）, DOI: 10.1299/​mej.15-00521.
[ 9 ]
Yasuhisa Sano, Kousuke Shinozawa, Toshiro Doi, Syuhei Kurokawa, Hideo Aida, Tadakazu Miyashita and Kazuto Yamauchi, High-efficiency planarization method combining mechanical polishing and atmospheric-pressure plasma etching for hard-to-machine semiconductor substrates, Mechanical Engineering Journal, Vol.3, No.1（2016）, DOI: 10.1299/​mej.15-00527.
[10]
Yuki Murakami, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano, Fabrication of nano-porous electrodes and its evaluation for electrical double layer capacitors, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP1-B-1.
[11]
Mehdi Heidari, Jiwang Yan, Ultraprecision surface flattening of porous single-crystal silicon by diamond turning, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP1-B-2.
[12]
Arata Sakai, Keisuke Nagato, Takumu Yamaguchi, Seigo Yoshino, Masayuki Nakao, Molding of YSZ pillars by screen printing for anode of SOFC, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP1-B-3.
[13]
Ahmad Rosli Abdul Manaf, Tsunetoshi Sugiyama, Yan Jiwang, Press molding of Si-HDPE hybrid micro fresnel lenses for IR imaging, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP1-B-4.
[14]
Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Femtosecond laser reductive patterning using the mixed copper oxide and nickel oxide nanoparticles, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP2-B-1.
[15]
Hiroshi Nishikawa, Kaori Matsunaga, Min-Su Kim, Mikiko Saito, Jun Mizuno, Bonding process using a nanoporous gold sheet for high temperature electronics, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP2-B-2.
[16]
Tomokazu Sano, Reduction behavior of CuO particles during Cu-to-Cu bonding, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP2-B-3.
[17]
Katsuo Mogi, Yuki Hashimoto, Takatoki Yamamoto, Three-dimensional microstructure fabrication by combination of a paraffin polymer and a photo-curable silicone elastomer, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP2-B-4.
[18]
Makoto Tokonami, Eiji Iwase, Characterization of transfer positioning accuracy on roll-type stamping transfer, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP2-B-5.
[19]
Takuma Yamamoto, Minoru Fujii, Kanna Aoki, Vertical assembly of micro components on a substrate using magnetic assembly method, International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016,（2016）SaP2-B-6.
[20]
Surdo Salvatore, Piazza Simonluca, Ceseracciu Luca, Diaspro Alberto, Duocastella Marti, Towards nanopatterning by femtosecond laser ablation of pre-stretched elastomers, Applied Surface Science, Vol.374（2016）pp.151–156, DOI: 10.1016/​j.apsusc.2015.10.142.
[21]
Lang Valentin, Roch Teja, Lasagni Andres, World record in high speed laser surface microstructuring of polymer and steel using Direct Laser Interference Patterning, Proceedings of SPIE, Vol. 9736（2016）pp.97360Z.1–97360Z.8.
[22]
Ye Zhou, Nain Amrinder, Behkam Bahareh, Spun-wrapped aligned nanofiber（SWAN）lithography for fabrication of micro/nano-structures on 3D objects, Nanoscale, Vol.8, No. 25（2016）pp.12780–6, DOI: 10.1039/​C6NR03323G.
[23]
Kalman Benoit, Picart Catherine, Boudou Thomas, Quick and easy microfabrication of T-shaped cantilevers to generate arrays of microtissues, Biomedical Microdevices, Vol.18, No.3（2016）p.43, 1–5.

23・3の文献

[ 1 ]
宍戸信之, 末松祐一, 神谷庄司, 曲げ試験による有機薄膜トランジスタの信頼性評価, 2016年度日本機械学会年次大会講演論文集（2016）, J2210104.
[ 2 ]
張 文磊, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑 修, サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC 薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験, 2016年度日本機械学会年次大会講演論文集（2016）, J2210305.
[ 3 ]
上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑 修,（110）シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響, 2016年度日本機械学会年次大会講演論文集（2016）, J2210306.
[ 4 ]
安部修平, 前谷卓哉, 溝尻瑞枝, 櫻井淳平, 秦 誠一, 薄膜金属ガラスを用いたマイクロ構造体の内部応力制御, 2016年度日本機械学会年次大会講演論文集（2016）, J2240102.
[ 5 ]
D. Yamane, T. Konishi, T. Safu, H. Nakajima, M. Teranishi, C.-Y. Chen, T.-F.M. Chang, M. Sone, H. Toshiyoshi, K. Masu and K. Machida, Young's Modulus Evaluation of Electroplated Ti/Au Structures for MEMS Devices, 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference（MNC2016）（2016）, 10D-5-1.
[ 6 ]
G. Ina, T. Fujii, T. Kozeki, S. Inoue and T. Namazu, Mechanical Properties Characterization and Fabrication Damage Investigation of Silicon Nanowires Based on Four-Different Sample Preparation Techniques, 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference（MNC2016）（2016）, 10D-5-3.
[ 7 ]
S. Kanetsuki, K. Kuwahara, S. Egawa, S. Miyake and T. Namazu, Reduction of Thermal Resistance in Al/Ni-reactivelybonded Solder Joints by Thickening the Outermost Layers, 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference（MNC2016）（2016）, 10D-5-4.
[ 8 ]
太田進也, 浅井 遼, Do Bang, 粟野博之, 小関貴裕, 赤峰宏和, 藤井達也, 生津資大, 竹延大志, 小山知弘, 千葉大地, フレキシブル基板上金属超薄膜の磁気特性の応力による制御, 2016年度日本機械学会年次大会講演論文集（2016）, J2210201.
[ 9 ]
G. Povie, Y. Segawa, T. Nishihara, Y. Miyauchi, K. Itami, Synthesis of a carbon nanobelt, Science, Vol. 356, Issue 6334（2017）, pp. 172–175, DOI: 10.1126/​science.aam8158.

23・4の文献

[ 1 ]
Proceedings of International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016, 2016.
[ 2 ]
日本機械学会2016年度年次大会講演論文集, DVD-ROM, No.16-1（2016）.
[ 3 ]
Proceedings of the 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences（MicroTAS）,（2016）.
[ 4 ]
Y. Yang, E. Noviana, M.P. Nguyen, B.J. Geiss, D.S. Dandy, C.S. Henry, Paper-Based Microfluidic Devices: Emerging Themes and Applications, Anal. Chem., Vol. 89, No. 1（2017）, pp. 71–91, DOI: 10.1021/​acs.analchem.6b04581.
[ 5 ]
M.M. Hamedi, A. Ainla, F. Güder, D.C. Christodouleas, M.T. Fernández-Abedul, G.M. Whitesides, Integrating Electronics and Microfluidics on Paper, Adv. Mater., Vol. 28, No. 25（2016）, pp. 5054–5063, DOI: 10.1002/​adma.201505823.

23・5の文献

[ 1 ]
Kröger, N. et al., Microfluidic large-scale integration, Science, Vol. 298（2002）, pp. 580–584, DOI: 10.1126/​science.1076996.
[ 2 ]
Nelson, W.C. and Kim, C.J. Droplet actuation by electrowetting-on-dielectric（EWOD）: A review, J. Adhes. Sci. Tech., Vol. 26（2012）, pp. 1747–1771.
[ 3 ]
Morley, A.A. Digital PCR: A brief history, Biomol. Detection and Qantification, Vol. 1（2014）, pp. 1–2, DOI: 10.1016/​j.bdq.2014.06.001.
[ 4 ]
Kitamori, T., Innovative microfluidics and pioneering nanofluidics, Proc. μTAS（2016）, pp. 236–237.
[ 5 ]
Rohani, A., et al., Surface conduction enhanced dielectrophoresis for biomarker enrichment in physiological media, Proc. μTAS（2016）, pp. 810–811.
[ 6 ]
Shirai, K. et al., Channel size dependence of antibody-antigen binding kinetics in nanofluidic channels, Proc. μTAS（2016）, pp. 802–805.
[ 7 ]
Le Gac, S., Drug screening on 3D tumor spheroids, Proc. μTAS（2016）, pp. 45–46.
[ 8 ]
Kuboyama, D. et al., Micro sand timer in glass membrane device separates single circulation tumor cells in blood, Proc. μTAS（2016）, pp. 297–298.
[ 9 ]
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