16. 加工学・加工機器
16・1 概論
Industry4.0やIoT(Internet Of Things)に関する話題とともに,製造現場においても高度化されたコンピュータ,通信,センサー技術の活用が期待されている.2016年度はこのような環境の中で,IoTの活用技術に対して多くの試みがなされた.未だ実用的な成果は少ないが,今後,生産技術の管理やコントロールに関して多くのアプリケーションが開発されるものと思われる.また,近年ではAdditive Machining(AM)が注目され,その実用化に対する関心が高まっている.現在のところ,AMは設備投資や材料費に対する負担が大きいため,各産業分野では応用例に対し慎重な検討がなされている.
アプリケーションの観点では,ボーイング社のB787型機の製造を契機として航空機製造の関心が高まり,難削材料の加工や高能率で高精度加工に対する技術の進歩も目覚ましい.炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の加工では,既に多くの技術が開発されているが,航空機における需要に対して,高品位・高能率加工に対するさらなる技術開発が進められている.
一方,自動車産業では,車体の軽量化,低摩擦化,動力伝達の高効率化を課題とした生産技術が開発されている.車体の軽量化ではCFRPに代表される樹脂化と高張力鋼板による薄肉化が進められ,この成形技術に対する需要が高い.また,低摩擦化では表面処理技術が注目され,薄膜や表面の微細加工に対する関心が高い.動力伝達に関しては歯車の成形が不可欠であるが,最近ではギヤスカイビング加工が注目され,2016年度には多くの技術開発が発表されている.
医療分野では,インプラント部品や手術用器具の加工が注目されている.チタン合金等の生体適合材料の切削では工具寿命が短いため,加工に対する課題が多い.手術用器具の製造では,低侵襲治療に対する要求に対して微細加工とともに表面処理のニーズが高い.
エネルギー分野において,タービンブレードなどの部品には高温強度,軽量,耐腐食性が求められ,ステンレス等の難加工材料が用いられている.また,風力発電等のブレードの大型化に伴いCFRPの利用も増え,その加工技術のニーズが高い.さらに,この分野の部品は大型なものが多く,回転部品に対しては高精度な加工が求められる.
情報分野では,携帯端末の進歩とともに,タッチパネルの普及と高機能デバイスの集積化が進んでいる.タッチパネルの材料として高強度な化学強化ガラスが使用されているが,近年では,より軽量な複合材料やサファイアへの転換も検討され,その加工技術開発が期待されている.
このように各産業分野の進歩と新材料の開発が進む中で,生産技術の課題は年々増えており,さらなる研究開発が期待されている.
〔松村 隆 東京電機大学〕
16・2 切削加工
2016年には,本会論文誌および精密工学会誌に8編,本会のJ. Adv. Mech. Des. Sys. and Manuf.に6編,Mech. Eng. J., Int. J. Mach. Tools and Manuf.に14編,J. Mat. Proc. Tech.に3編,Prec. Eng.に12編,CIRP Annalsに8編の計51編の切削に関する論文が掲載された.その内訳は,平削りや形削りなどの二次元切削が10編,旋削が5編,フライス・エンドミル加工が20編,ドリル加工が8編,歯切りやプランジ加工などが3編,超音波加工の特殊加工やシミュレーションなどが5編である.
被削材として,CFRPが7編,WCや超硬合金が2編,ガラスが2編,Ti-6Al-4Vが5編ある一方で,アルミニウム合金やそれに類する非鉄金属が11編あった.工具材種で分類すると,超硬合金製(コーティング工具含む)が25編,ダイヤモンド工具(単結晶,多結晶)が14編であるが,工具鋼やサーメットが2編であった.硬脆材に対する加工として,異方性のあるリン酸二水素カリウム結晶に対してフライカットにて延性–脆性加工遷移切り込み深さに関する研究[1],同様にリン酸二水素カリウム結晶の微細な欠陥を修正するために,PCDマイクロボールエンドミルの開発と有限要素解析によるプロセスのシミュレーション[2],超硬合金のハードターニングにおいて,CBNやダイヤモンドをはじめとした様々な工具での切削力と温度の比較[3],回折・屈折の両特性を有する非球面レンズをSPDTで超高精度切削する研究[4],AFMと同じ原理によって,切削力と切り込み量を動的にコントロールすることで,傾斜面や曲面に対して一定の切り込み深さを実現させることで,ガラスに微細V溝を延性モード切削する機構からのアプローチ[5]が報告されている.
加工特性を改善するために,工具に特定の運動をさせる方法がある.Ti–6Al–4Vへの穴あけに関してのヘリカル運動時の切削モデル[6]や,タングステンカーバイドを微細に楕円振動させた単結晶ダイヤモンドで切削する装置製作と現象に関する研究[7]や超音波振動する工具によるFRPの二次元切削モデルに関する報告[8]があった.
〔磯部 浩已 長岡技術科学大学〕
16・3 研削・研磨加工
2016年中は,本会の論文集,精密工学会誌,砥粒加工学会誌に30編,また,国際誌ASME J. Manuf. Sci. and Eng.,Int. J. Mach. Tools and Manuf.,CIRP Annalsに25編,計55編の研削・研磨加工に関する研究論文が掲載された.その内訳は,研削加工32編,研磨加工15編,噴射加工や切断加工などその他8編である.
研削加工の分野では,研削方法や研削盤開発の研究が続いており,デバイスウエハ基板研削用のロータリ研削盤の開発[1]や超音波振動援用センターレス研削盤の開発[2]など研削装置開発に関する基礎研究があった.そのほか,砥石やそのツルーイング[3]に関する研究があった.また,砥石作業面トポグラフィの機上計測システム開発に関する研究[4]や研削精度向上のためのシミュレーション技術に関する研究[5]も見られた.研削加工の対象材料は鋼[6]をはじめ,ガラス[7],デバイスウエハ[1],また,CFRP [8]など多岐にわたって高精度・高能率・微細加工の研究を行った.中では超音波振動援用研削によるCFRPの高精度微細溝加工[8]の研究があり,超音波振動付加による新材料の加工効果について検討した.
研磨加工の分野では,サファイヤ[9]や単結晶SiCウエハ[10]など半導体デバイス材料を対象に高品位・高能率CMPプロセスの研究や研磨のメカニズム,研磨パットの表面状態に注目した研究[11]が多く見られた.複合砥粒の研磨能率向上を目的として,砥粒の滞留性改善を目的とする研磨パッド構造の最適化の研究があった[12].また,紫外光援用研磨[13]や磁気研磨ブラシによる研磨機構の解明[14]電解還元水スラリーを用いた磁気援用加工法[15],スラリーの流れを制御した円管内面研磨法[16]の研究もあった.さらに,デバイスウエハの高精度研磨用冷凍チャックの開発とそれによる研磨の適用性の研究も展開した[17].
上記の研削・研磨技術の研究開発のほかに,ショットピーニングやブラスト研磨法に関する研究があり,中ではダイヤモンド/鋼複合粒子による被加工表面の摩擦磨耗特性の改善の研究があった[18].また,ダイシングワイヤソー[19]やダイシングブレードによる半導体材料の切断[20],PCDダイシングブレードの開発[21],そして切断用ワイヤの製造技術の開発[22]についての研究が進められている.
〔林 偉民 群馬大学〕
16・4 電気・化学加工
2016年中に国内外の主要学術誌に掲載された,電気・化学加工に関する主な研究論文の内容を紹介する.
放電加工分野ではマイクロ放電加工に関する報告例が多く,マイクロ放電加工における工具電極・工作物への放電エネルギーの配分比率を求める手法が考案され,実験的にその有効性が確かめられている[1].パルストレインを用いた静電誘導給電法によるマイクロ放電加工においては,放電回路の共振周波数で加工を行い,放電エネルギーを増加させて加工速度の向上を図った[2].また,マイクロ放電加工用の小径電極の取扱いにくさを改善するピーリング工具電極に関する研究では,コア径が10 µmの極小径工具電極が開発され微細穴加工に用いられた[3].マイクロ放電加工以外では,工具鋼の放電加工における,応答曲面法を用いた加工パラメータの変化による加工特性の変動予測とその最適化に関する研究[4]や,曲面のワイヤ放電加工において加工形状精度を向上させるために,仕上げ加工前の加工形状誤差を測定し,それを元に仕上げ加工形状を修正する手法の提案がなされている[5].また,工具電極に強塑性変形を付与することによりその材料特性が改善され,それを用いた放電加工において加工精度や工具摩耗率が大きく向上したことが報告されている[6].また,放電加工においてはあまり報告例のない,加工時におけるアコースティックエミッションの特徴について研究が行われ,加工液中の気泡の挙動との関連性が高いことが確認されている[7].超音波援用放電加工に関しては,従来高加工速度を目的とした研究が多かったが,仕上げ面粗さの向上に着目した例が報告されており[8],絶縁性材料の放電加工に関しては,工作物表面に形成される導電性被膜を観察・分析することによりその形成メカニズムが解明されている[9].
電解加工分野においてもマイクロ電解加工に関する論文の比率が高くなっている.マイクロワイヤ電解加工により,タングステンに対して微小幅かつ高アスペクト比のスリット加工を行った例が報告されている[10].また,ワイヤ放電加工と電解加工により製作された微細工具電極アレイを用い,マイクロ電解加工により多数微細穴の同時加工が行われた[11].さらに,静電誘導給電法を用いたマイクロ電解加工におけるサーボ送り制御に関する研究が行われ,テーパ比の小さい微細貫通穴の加工が可能となり[12],丸鋸刃状の特殊な工具電極を用いたマイクロ電解加工により,穴内面に微細環状溝加工を行った例が報告されている[13].小径曲がり穴加工においては,電解液に超音波振動を付与することで高加工速度が得られ,極間が小さくなることが報告されている[14].加工現象の解明に関しては,透明工具電極を用いて加工中の極間を観察することにより,生じた気泡の加工精度や加工安定性に及ぼす影響が調べられている[15].また,超硬合金微細軸の加工において加工中の極間を観察した結果,両極性パルスを用いると反応生成物が低減し,良好な仕上げ面が得られることが確認された[16].
〔江頭 快 京都工芸繊維大学〕
16・5 エネルギービーム加工
2015年と同じく,エネルギービーム加工のうち,レーザ加工について概説する.2016年に掲載されたレーザ加工に関連する研究論文としては,本会論文集,J. Adv. Mech. Des., Sys. and Manuf.,精密工学会誌,Precision Engineering,砥粒加工学会誌に15編を数えた.また,CIRP Annals,CIRP J. Manuf. Sci.,Int. J. Mach. Tools and Manuf.に10編を数えた.パルスレーザを用いた微細加工に関する研究とAdditive Manufacturingに関する研究の件数が比較的多かったため,これらを中心に記述する.
ナノ秒・ピコ秒・フェムト秒といった短いパルス幅のレーザを照射して材料表面に微細構造を創製する研究について,ガラス表面にナノテクスチャリングを施す際のメカニズムを明らかにしたもの[1]が報告された.また,金属表面に創製した微細構造により濡れ性を制御する技術[2]や動脈瘤クリップの把持面に創製した微細構造により摩擦特性を向上させる技術[3]について報告された.また,ダイヤモンドを用いた機械加工用工具への応用も多く発表され,メタルボンド・ダイヤモンドホイールのツルーイング[4, 5]・ドレッシング[6],多結晶ダイヤモンド製マイクロミリング工具の創製[7],多結晶ダイヤモンド・マイクロドリルの刃先処理[8]に関する取り組みについて報告された.
Additive Manufacturingについては,造形時の溶融材料挙動のモデリングに関する研究[9],造形物の機械的強度や内部構造の評価[10, 11, 12]に関する報告があった.なお,精密工学会誌(2016年7月号)の特集記事[13]で幅広く最新動向が紹介されたので,参照されたい.
これら以外にも,屈折型非軸対照ビームシェイパの設計手法[14],楕円形ビーム光学系の動作特性[15],ガラスの曲り穴加工に関する研究[16],レーザ照射による材料表面の改質に関する試み[17, 18]について報告された.
なお,2016年のJIMTOF(日本国際工作機械見本市)で見られた通り,近年はレーザ関連の機械装置の出展件数が増加しており,工作機械にレーザを取り込む事例,またレーザとの複合や融合を図り,レーザと切削工具を組み合わせた造形加工機の出展数が増えてきた[19].これらに関する研究についても今後の進展が期待される.
〔小川 圭二 龍谷大学〕
16・6 工作機械
2016年に日本機械学会論文集,JAMDSM,精密工学会誌,Precision Engineering,CIRPおよびASMEのJ. Manuf. Sci. Eng.に掲載された工作機械関連の論文数は29編であった.大別すると,工作機械の精度評価および補正に関する論文が14編,動特性向上や振動抑制に関する論文が11編および制御技術あるいはCAMに関する論文が4編となった.なお,これらの分類にまたがって結合部の摩擦特性などの非線形特性を考慮した論文が8編に及んでおり,結合部の特性の考慮が重要な検討課題のひとつとなっていることを特徴づけている.
以下に上述の分類に即して,工作機械関連の研究内容を記述する.工作機械の精度評価および補正に関しては,工作機械を幾何学的および力学的にモデル化して誤差発生要因を解析して精度向上を図る研究[1, 2, 3, 4, 5, 6],レーザ干渉計などで工作機械の幾何学的精度を計測して誤差補正に活用する研究[7, 8],加工した工作物から工作機械の幾何学的精度特性を定める研究[9, 10],主軸やボールねじなどの温度の計測制御により熱変形を抑制する研究[11, 12],主軸振れの計測に関する研究[13],さらに工作機械の組立プロセスをモデル化して精度向上を図る研究[14]などが報告されている.動特性向上や振動抑制に関しては,工作機械構造の動的モデル化に基づいて振動抑制を図る研究[15, 16],ダンパなどの制振要素に関する研究[17, 18],テーブル駆動の速度制御の適正化による振動抑制に関する研究[19]などが報告されている.制御技術あるいはCAMに関しては,5軸以上の多軸工作機械における工具軌跡の合理的決定法に関する研究[20, 21]が報告されている.なお,上述の分類に対して横断的に結合部の非線形特性に着目した研究として,滑り案内の摩擦特性が運動精度に及ぼす影響に関する研究[22],ボールねじ内部における接触剛性が運動精度に及ぼす影響に関する研究[23],結合部や摺動部の摩擦などの非線形ばね特性を考慮した工作機械の動特性に関する研究[24, 25, 26],ツールホルダの主軸及び工具との結合部の動特性に及ぼす影響に関する研究[27],歯車やボールねじあるいは直動機構などにおける接触剛性を工作機械の制御モデルに組み込んで精度向上を図る研究[28, 29]が報告されている.
本稿では,工作機器や要素技術を含めずに工作機械そのものを対象とした研究に絞って動向を整理した.このため論文数が減ったように見えるが,結合部に着目したトライボロジ的な観点からの検討が活発になっていることなど,より高い精度を実現するための着実な研究の取組みがなされていることが確認できる.一方,昨年11月の国際工作機械見本市JIMTOFでも付加加工プロセスやIoT技術の工作機械への組込みがいよいよ本格化しており,それらが工作機械技術の新しいフェーズを切り拓くための新たな研究領域となっていくことも期待される.次年度以降も工作機械関連した研究がより活発になり,精度向上につながる着実な研究成果が報告されることを期待する.
〔坂本 治久 上智大学〕
16・7 工具・工作機器
2016年に本会論文集(和,英),精密工学会誌,砥粒加工学会誌およびPrecision Engineering, CIRP Annals, ASME: J. Manuf. Sci. and Eng., Int. J. Mach. Tools and Manuf.などに掲載された工具・工作機器関連の論文は29編であった.内容的には切削加工,研削・研磨加工ならびに工作機械関連の論文と重複するため,工具については工具材料・表面改質・工具形状などに主眼においたもの,工作機器については加工手法の提案・加工機器を構成する要素技術などに関するものを取り上げる.
まず,切削工具については,コーティング工具[1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10],テクスチャ付工具[11, 12, 13],特殊形状工具[14, 15],工具の成形・加工[16, 17, 18],その他[19, 20]に分類される.コーティング工具関連では,Ti中間層を有するB-C系硬質膜の創成に際しCH4を導入することで摩擦係数の低減が図れるが,高密着化には炭素系固体原料をスパッタ材とすることを提唱している[2].Ni基超耐熱合金(Alloy 718)旋削時のTiN-コーテッド工具の逃げ面損傷形態を詳細に検討し,コーティング膜の欠陥(ドロップレットやボイド)が工具摩耗の起点になること[6]や,Alloy 718組成の凝着層とコーティングとの間に存在する(Nb, Ti)Cが刃先直下に堆積してアブレッシブ摩耗を促進することを報告している[4].ダイヤモンド-およびTIN-コーテッド工具を焼入れダイス鋼の楕円振動切削に適用し,摩擦係数が大きいTiN-コーテッド工具による乾式切削で切りくず厚さ,切削抵抗および仕上げ面粗さの減少がみられるという注目すべき結果を得ている[7].ナノ多結晶ダイヤモンド(NCD)-コーティング工具をチタン合金のマイクロミリングに適用し,TiN-やAlCrN-コーティング工具に比べむしろ工具摩耗が多いことを示している[8].フィルタードアーク蒸着法(T-FAD)による平滑なDLC(ta-C)-コーテッドエングレーブ工具によるAl,Cu,黄銅の切削実験を行い,切りくずの凝着やチッピングが生じないことを示している[10].一方,テクスチャ工具では,溝付き工具による切りくず案内機構について検討を行い,切削力の低減やびびり振動安定性に効果的な溝方向を提案している[11].テクスチャ工具によるアルミニウムの乾式旋削において,方形状(破線状の溝)のテクスチャパターンが比較的低切削速度で最も潤滑性を示すことを明らかにしている[12].その他,突出しの長い不等ピッチエンドミルに送り方向に支持具をつけることによって,びびり振動を抑制した深溝加工の報告や[14],フェムト秒パルスレーザによるバインダレスダイヤモンドマイクロボールエンドミルの高精度加工や[16],弾性ボンドホイールによるエンドミル切れ刃の形状創成に関する研究もみられる[17].
切削工具以外では,新しい研削ホイールの開発や設計[21, 22, 23],ダイシングソーによる切断手法[24, 25],などが報告されている.歯科技工用軸付砥石開発を目的としてポリ尿素樹脂便度軸付砥石を提案し,Ti-Ag合金の研磨に良好な特性を示している[21].銅(80%)-亜鉛(20%)合金を結合剤とするブロンズボンドホイールについて,研削性能を左右する気孔率と臨界結合応力を結合剤の焼結条件によって自由に調整できることを示している[23].少ないカーフロスで厚物脆性材料の切断に適用できるダイシングワイヤソーを開発し,単結晶シリコンの精密切断に適用している[24].樹脂をコーティングしたワイヤにダイヤモンドスラリーを供給しながら加工を行う手法を提案し,SiCの切断において固定砥粒方式に比べて加工変質層の発生を大幅に軽減している[25].この他,高剛性バニシング工具や[26],微細放電加工用ピーリング工具の製作に関する研究もなされている[27].
工作機器に関連するものとしては,定流量水静圧軸受を用いた大型ウェハ加工用ロータリ研削盤を開発や[28],かさ歯車およびハイポイドギア製作のためのフェイスホブ用ブレードの新しい設計法の提案などが散見される[29].
〔細川 晃 金沢大学〕
16・8 加工計測
ここでは「加工計測」として,加工物の形状などの計測に関する研究をレビューする.2016年の加工計測に関する論文は,本会論文集に3編,精密工学会誌に9編,砥粒加工学会誌に2編,JAMDSMに5編,Precision Engineeringに27編,Int. J. Mach. Tools and Manuf.に7編を数えた.件数ではPrecision Engineeringが最も多かった.
加工物の表面形状計測に関しては,非接触3D形状計測,機上計測,大型形状計測に関連する論文が複数あった.非接触3D計測に関連して,コノスコープホログラフィーシステムによる傾斜角の測定[1],写真測量スキャンス測定法[2],波長シフト干渉計を用いた粗面の形状測定[3],位相シフトシャドウモアレ法による形状測定[4],ナノフォーカスX線顕微鏡の投影画像から形状を推定する方法[5],スキャンレス共焦点顕微鏡[6],などが報告された.近年,3D計測ではコノスコープホログラフィーシステムによる形状測定法の研究も増えてきている.非接触の3D形状測定法の研究は今後も続くだろう.機上計測に関しては,STMを用いて微小構造化表面を測定する方法[7],アートファクトを用いたマイクロツールの摩耗などを測定する方法[8],工作機械の体積誤差を補償して大型部品を測定する方法[9],などが報告された.大型形状計測では,斜入射光の反射角変化を用いた大平面鏡[10],ステッチング計画に基づく大非球面光学面の測定法[11],が報告された.工具の形状測定に関連して,砥石作業面のトポグラフィ画像計測[12],センシングに関しては,マイクロ座標測定機のプロービングシステム[13, 14],絶縁試料測定のための走査静電力顕微鏡[15]などが報告された.
工作機械,座標および形状測定機の運動精度などの測定に関連して,ダブルボールバーによる空間精度測定[16],光コム干渉計を用いた三次元測定機(CMM)の対角線測定[17],逐次三点法による大型曲面の形状測定法[18],測定機の誤差分離に関しては,スピンドル計測における多方向誤差分離[19],真円度誤差とスピンドル誤差を測定するための方法[20],が報告された.
3D形状測定法については,測定面の傾斜や表面性状が測定精度に大きく影響するがこれらの問題に触れている研究は少ない.今後実用化に向けて多くの研究が行われることを期待したい.また機上計測については接触式のプローブを搭載した報告が多かったが,非接触式のプローブを用いた機上計測の研究が増えることも期待したい.
〔深津 拡也 東京都立産業技術高等専門学校〕
16・2の文献
- [ 1 ]
- Shengfei W., Chenhui A., Feihu Z., Jian W., Xiangyang L., Jianfeng Z., An,experimental and theoretical investigation on the brittle ductile transition and cutting force anisotropy in cutting KDP crystal, Int. J. Mach. Tools and Manuf., Vol. 106(2016)pp. 98–108, DOI: 10.1016/j.ijmachtools.2016.04.009.
- [ 2 ]
- Ni C., Mingjun C., Chunya W., Yanqiu G., Yanan W., The design and optimization of micro polycrystalline diamond ball end mill for repairing micro-defects on the surface of KDP crystal, Prec. Eng., Vol. 43(2016)pp. 345–355, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.08.015.
- [ 3 ]
- A. Mohammad Nizam A, A. Hosokawa, T. Ueda, T. Furumoto, T. Koyano, Cutting performance of CBN and diamond tools in dry turning of cemented carbide, Mech. Eng. J., DOI: 10.1299/mej.15-00526.
- [ 4 ]
- L.H. Li, C.Y. Chan, W.B. Lee, Y.H. Liu, A novel evaluation and compensation method for ultra-precision machining of hybrid lens, Prec. Eng., Vol.43(2016)pp.10–23, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.05.001.
- [ 5 ]
- G.H. Granadosa, N. Moritaa, H. Hidai, S. Matsusaka, A. Chiba, K. Ashida, I. Ogura, Y.(5)Okazaki, Development of a non-rigid micro-scale cutting mechanism applying a normal cutting force control system, Prec. Eng., Vol.43(2016)pp.544–553, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.09.021.
- [ 6 ]
- P.A. Rey, J. LeDref, J. Senatore, Y. Landon, Modelling of cutting forces in orbital drilling of titanium alloy Ti–6Al–4V, Int. J. Mach. Tools and Manuf., Vol.106(2016)pp.75–88, DOI: 10.1016/j.ijmachtools.2016.04.006.
- [ 7 ]
- Jianguo Zhang, Tao Cui, Cheng Ge, Yongxin Sui, Huaijiang Yang, Review of micro/nano machining by utilizing elliptical vibration cutting, Int. J. Mach. Tools and Manuf., Vol.106(2016)pp. 109–126, DOI: 10.1016/j.ijmachtools.2016.04.008.
- [ 8 ]
- W. Xu, L. Zhang,Mechanics of fibre deformation and fracture in vibration-assisted cutting of unidirectional fibre-reinforced polymer composites, Int. J. Mach. Tools and Manuf., Vol.103(2016)pp.40–52, DOI: 10.1016/j.ijmachtools.2016.01.002.
16・3の文献
- [ 1 ]
- 楠山純平・ほか, 大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発(第1報:水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討), 日本機械学会論文集, Vol.82, No.842(2016), DOI: 10.1299/transjsme.16-00190.
- [ 2 ]
- W. Xu, et al., Sphere forming mechanisms in vibration-assisted ball centreless grinding, Int. J. Mach. Tools & Manuf., Vol.108(2016), pp.83–94, DOI: 10.1016/j.ijmachtools.2016.06.004.
- [ 3 ]
- 峠直樹・ほか, CBN電着砥石の石英ツルーイング技術の開発, 砥粒加工学会誌, 60-7(2016), pp.393–398.
- [ 4 ]
- 尾嶌裕隆・ほか, ステレオ画像による砥石作業面トポグラフィの機上3次元計測システム開発に関する研究, 精密工学会誌, 82-2(2016), pp.186–191.
- [ 5 ]
- 大西孝・ほか, 円筒プランジ研削における工作物熱変形量のシミュレーション解析—砥石軸モータの電力を用いた研削抵抗の推定—, 精密工学会誌, 82-1(2016), pp.70–74.
- [ 6 ]
- D. Biermann, et al., Modelling and simulation of thermal effects in internal traverse grinding of hardened bearing steel, CIRP Annals, 65(2016)pp.321–324, DOI: 10.1016/j.cirp.2016.04.005.
- [ 7 ]
- 関口麗・ほか, 砥石送りー被削材周速制御による光学ガラスレンズの延性モード研削加工の高能率化, 砥粒加工学会誌, 60-5(2016), pp.254–260.
- [ 8 ]
- 山崎剛史・ほか, 超音波振動援用研削によるCFRPの高精度微細溝加工, 砥粒加工学会誌, 60-12(2016), pp.659–664.
- [ 9 ]
- 畝田道雄・ほか, サファイアCMPにおける研磨パッド表面温度と研磨レートの関係, 砥粒加工学会誌, 60-8(2016), pp.448–453.
- [10]
- 平野真也・ほか, パワーエレクトロニクス用SiCウェーハの高能率CMPプロセスの開発, 砥粒加工学会誌, 60-8(2016), pp.454–459.
- [11]
- 畝田道雄・ほか, スウェード系研磨パッドを用いた難加工基板CMPの研磨メカニズム解明に関する研究—スウェードパッド表面の空孔が研磨レートとその安定性に与える影響—, 精密工学会誌, 82-7(2016), pp.703–708.
- [12]
- 一廼穂直聡・ほか, 複合砥粒を用いた研磨に適用した研磨パッドの表面構造, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.835(2016), DOI: 10.1299/transjsme.15-00447.
- [13]
- 田中武司, 紫外線で励起された光触媒とCathilonによるCo-Cr-Mo合金の研磨, 精密工学会誌, 82-7(2016), pp.690–696.
- [14]
- 馬雷・ほか, 磁気研磨ブラシによる研磨機構の解明, 日本機械学会論文集, Vol.82, No.844(2016), DOI: 10.1299/transjsme.16-00253.
- [15]
- 川久保英樹・ほか, 電解還元水スラリーを用いた磁気援用加工法に関する研究, 非磁性工作物に対する除去能力および仕上げ面性状, 砥粒加工学会誌, 60-9(2016), pp.509–514.
- [16]
- 清水毅・ほか, スラリーの流れを制御した円管内面研磨法の提案, 砥粒加工学会誌, 60-3(2016), pp.153–158.
- [17]
- 吉冨健一郎・ほか, 研磨用冷凍ピンチャックの開発(第2報)—試作冷凍チャックの冷凍特性と研磨への適用—, 精密工学会誌, 82-1(2016), pp.82–86.
- [18]
- 片山大輔・ほか, ダイヤモンド/鋼複合粒子を用いた微粒子ピーニングによる摩擦磨耗特性の改善, 砥粒加工学会誌, 60-7(2016), pp.386–392.
- [19]
- 諏訪部仁・ほか, マルチワイヤソーによるSiCの延性モードスライシング加工に関する研究, 砥粒加工学会誌, 60-2(2016), pp.91–96.
- [20]
- 鈴木孝彰・ほか, ダイシングワイヤソーによる単結晶シリコンの精密切断に関する研究, 砥粒加工学会誌, 60-2(2016), pp.97–103.
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- 和泉康夫・ほか, SiC半導体基板用PCDダイシングブレードの開発, 砥粒加工学会誌, 60-11(2016), pp.597–602.
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16・4の文献
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- [ 9 ]
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- [10]
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- [11]
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- [12]
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16・5の文献
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- [ 2 ]
- 水谷正義, 湯田彩香, 小茂鳥潤, 嶋田慶太, 厨川常元, ナノ秒パルスレーザを照射した金属表面の濡れ性に関する研究, 砥粒加工学会誌, Vol.60, No.1(2016), pp.35–39.
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- Cong Zhou, Hui Deng, Genyu Chen, Study on methods of enhancing the quality, efficiency, and accuracy of pulsed laser profiling, Precision Engineering, Vol.45(2016), pp.143–152, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2016.02.005.
- [ 5 ]
- Hui Deng, Zhaohui Deng, Shichun Li, Study on methods to optimize laser-sharpening quality, efficiency and topography, Precision Engineering, Vol.46(2016), pp.409–416, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2016.05.005.
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- Cong Zhou, Hui Deng, Genyu Chen, Yong Zhang, Dawei Wang, Xingcai Zhou, Numerical simulation of single-pulse laser ablation for dressing a bronze-bond diamond grinding wheel, Precision Engineering, Vol.43(2016), pp.78–85, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.06.012.
- [ 7 ]
- Paul Butler-Smith, Maximilian Warhanek, Dragos Axinte, Michael Fay, Jean-Francois Bucourt, Raphael Ragueneau, Konrad Wegener, The influences of pulsed-laser-ablation and electro-discharge-grinding processes on the cutting performances of polycrystalline diamond micro-drills, CIRP Annals, Vol.65, No.1(2016), pp.105–108, DOI: 10.1016/j.cirp.2016.04.008.
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- 太田由香, 松坂浩志, 張本鉄雄, 楕円形ビーム光学系の動作特性, 精密工学会誌, Vol.82, No.2(2016), pp.163–167, DOI: 10.2493/jjspe.82.163.
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16・6の文献
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- Shogo HASEGAWA, Ryuta SATO, Keiichi SHIRASE, Influences of geometric and dynamic synchronous errors onto machined surface in 5-axis machining center, J. Adv. Mech. Des., Vo.10, No.5(2016), JAMDSM0071.
- [ 4 ]
- Tadahiro NISHIGUCHI, Ryuta SATO, Keiichi SHIRASE, Evaluation of dynamic behavior of rotary axis in five-axis machining center(Behavior around motion direction changes), J. Adv. Mech. Des., Vo.10, No.5(2016), DOI: 10.1299/jamdsm.2016jamdsm0075.
- [ 5 ]
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- [ 6 ]
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- 大塚 二郎, 野﨑 孝志, 鈴木 隆太郎, 種石 健一, 十朱 寧, 中田 篤史, 行平 憲一, 越水 重臣, 西出 哲弘, 大澤 洋文, 精密位置決め装置のボールねじ熱膨張のペルチェモジュール冷却による防止, 精密工学会誌, Vol.82, No.11(2016), pp.970–975.
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- Lin HAN, Fujun WANG, A general torsional stiffness estimating approach for geared transmission employed in rotary table of machine tools, J. Adv. Mech. Des., Vo.10, No.2(2016), DOI: 10.1299/jamdsm.2016jamdsm0024.
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- 田中 淑晴, 足立 和輝, 大岩 孝彰, 小谷 明, 大塚 二郎, 直動転がり案内を用いたリニアモータ駆動による超精密位置決め:サブミリ~ナノメートル変位領域の摩擦挙動, 精密工学会誌, Vol.82, No.10(2016), pp.881–887.
16・7の文献
- [ 1 ]
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- [ 2 ]
- 神崎昌郎, 島田駿貴, CH4導入によるB-Cスパッタコーティング材の摩擦特性の改善とその切削特性の評価, 精密工学会誌, Vol. 82, No. 2(2016), pp. 198–204.
- [ 3 ]
- 横田知宏, 澤 武一, 横内正洋, DLC被覆工具によるA5052断続切削中の摩擦係数変化に及ぼす要因の検討, 精密工学会誌, Vol. 82, No. 4(2016), pp. 354–359.
- [ 4 ]
- 小関秀峰, 井上謙一, 臼杵 年, Alloy 718旋削加工時のPVDコーテッド工具の逃げ面摩耗, 精密工学会誌, Vol. 82, No. 5(2016), pp. 460–466.
- [ 5 ]
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- [ 6 ]
- Koseki, S., Inoue, K., and Usuki, H., Damage of physical vapor deposition coatings of cutting tools during alloy 718 turning, Precision Engineering, Vol. 44,(2016), pp. 41–54, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.09.012.
- [ 7 ]
- Saito, H., Jung, H. and Shamoto, E., Elliptical vibration cutting of hardened die steel with coated carbide tools, Precision Engineering, Vol. 45,(2016), pp. 44–54, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2016.01.004.
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- Shamoto, E. and Saito, A., A novel deep groove machining method utilizing variable-pitch endmill with feed-directional thin support, Precision Engineering, Vol. 43,(2016), pp. 277–284, DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.08.006.
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