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2019年度部門表彰者の声：ベストプレゼンテーション表彰

名古屋大学
山田 恭平

　

　この度は，日本機械学会2019年度年次大会において発表の「逆リフトオフ法を用いたMEMSミラー構造体の作製」に対し，情報・知能・精密機器部門ベストプレゼンテーション賞を頂き大変光栄に存じます．本研究を進めるにあたり，ご指導，ご支援を頂いた関係者の皆様に深く御礼申し上げます．

　受賞した研究は，MEMSミラーの両持はり部に金属ガラスを用いた厚膜のMEMSミラー構造体作製に取り組んだものです．金属ガラス構造体の膜厚を大きくした際に生じる，構造体膜厚，断面形状の変化を低減させるため，パターニング形状の凸部を予め形成し，成膜することで，凸部表面上に膜厚が均一な構造体のパターンを形成する逆リフトオフ法を用いました．厚膜化に伴い生じた構造体のたわみも熱処理による厚膜金属ガラスの構造緩和により低減が可能で，たわみの小さい厚膜金属ガラスMEMSミラー構造体を作製しました．

　今後は社会人として今回の受賞を励みとし，日々精進していく所存です．最後になりましたが，日本機械学会 情報・知能・精密機器部門の益々の発展を祈念し，受賞の挨拶とさせていただきます．

図　作製した金属ガラスMEMSミラー構造体　(右：表面，左：裏面)

Last Modified at 2020/12/22