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SAW

Surface acoustic wave

弾性体表面を伝搬する波.圧電体の表面に形成した櫛型電極に高周波を入力すると圧電体の物性と櫛型電極の形状に依存した表面弾性波が発生し,離して配置したもう1つの櫛型電極でその周波数特性を検出することができる.特定の周波数だけを取り出すことができるSAWフィルタや櫛型電極間の圧電体に吸着した物質の質量変化を測定するSAWセンサとして用いられる.

saw.txt · 最終更新: 2025/02/10 13:54 by mnm08