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NEMS(Nano-Electro-Mechanical Systems)は、ナノ電気機械システムとして知られる技術分野。MEMS同様に機械部品やセンサを微細なスケールで構築し、電気信号を機械的な動作に変換することが可能な技術であり、そのサイズがnmレベルに及ぶものを指す。