MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）は、微小電気機械システムとして知られる技術分野。微細なサイズの機械部品やセンサーを、集積回路と同じシリコンウエハ上に作り込むことで、電気信号を機械的な動作に変換する技術。例えば、加速度センサやジャイロスコープ等の姿勢制御、マイクロミラーを用いた光学スイッチングやスキャンデバイス、バイオセンサーなど、多岐にわたる分野で活用されている。