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機械工学事典
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ステルスダイシング
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===== ステルスダイシング ===== ==== Stealth dicing ==== {{tag>..c21}} パルスレーザーをウエハ内部に集光することで改質層を形成し、ウエハを分割する加工技術。ブレードダイシングに比べ、チッピングが抑制できることから加工精度が高い。さらに、表裏面は加工による発熱、破損および汚染が生じないため、冷却水を使用せずドライプロセスで実施できる。 ~~NOCACHE~~
ステルスダイシング.txt
· 最終更新: 2024/03/15 15:17 by
mnm06
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