若手会員のための資格継続キャンペーン対象講習会

講習会「デバイス接合に関するマイクロ・ナノファブリケーション講習」

企画： マイクロ・ナノ工学部門
開催日時： 2025年2月7日(金)　9:45～15:30
開催形態: 対面
会場： かわさき新産業創造センター(KBIC) 集合場所：AIRBIC 会議室1 (1 階)
（川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり JR 新川崎駅から徒歩10～15 分）

アクセス

◆趣旨：
マイクロ・ナノファブリケーション分野での研究開発に必要なデバイス接合技術の習得を目的とし、デバイス接合に関する講習とプラズマ発生装置を使ったハンズオン形式の実習を行う。
マイクロ・ナノファブリケーション分野や先端半導体分野では、微細加工された基板同士の接合がデバイスの信頼性を決める重要な要素となっている。そこで、本講習会では、かわさき新産業創造センター(KBIC)のクリーンルームでのプラズマ発生装置を用いたハンズオン形式の実習を通して、デバイス接合に関する基礎的な知識、および具体的な接合手順を学ぶ。

◆プログラム：
9:45 集合 AIRBIC 会議室1 (1階)
10:00 【講義: デバイス接合に関するレクチャー並びに機器・実習概要説明】
2時間程度
講師：　古賀総研　河野顕臣　シニアエキスパート

12:00 昼食，休憩

13:00 【プラズマ発生装置を用いたデバイス接合実習】
2時間程度
講師：　KBICスタッフ
・ プラズマ発生装置*1操作概要説明、デバイス接合
・ デバイス接合評価

15:00 質疑応答

15:30 終了

*1 プラズマアッシング装置（ヤマト科学㈱製 PR510）

連絡事項
1. 当日は9:45 に，AIRBIC 会議室1 (1 階)へお集まり下さい。開始時間は10:00です。
2. クリーンルーム用のノート，ボールペンの持ち込みは可能です。必要な方にはクリーンペーパー，クリップボードなどをご用意致しますので，事前にご連絡下さい。
3. 防塵服，クリーンブーツ，手袋，マスクを用意いたします。事前にサイズをご連絡下さい。
4. 防塵服を着用したクリーンルーム内での作業のため，動きやすい服装でお越し下さい。
5. 当日，名札をお渡しいたします。
6. 昼食は，AIRBIC内のレストランをご利用いただくか，ご持参の場合は会議室をご利用いただけます。

◆定員： 10名程度

◆申込・支払締切：1月31日（金）

◆聴講料（すべて税込み価格）：
正員13,000円，会員外20,000円，学生員6,000円，一般学生10,000円
・学生員から正員資格へ変更された方は，卒業後3年間，学生員価格にて講習会にご参加いただけます．お申し込みの際，「正員（継続特典）」を選択し，卒業年と卒業された学校名を「通信欄」にご記入ください。
・特別員（法人会員）で参加される場合，「行事参加料割引コード」のご利用で参加費は正員価格となります．お申し込みの際、「特別員」を選択し，「会員番号」に「行事参加料割引コード」（xxxxxxx-xxxx）をご記入下さい．
・「特別員行事参加無料券」のご利用で，参加費は無料となります．「特別員（無料券利用）」としてお申込みの上，以下の担当職員まで「行事参加無料券（原本）」をご郵送ください。
〒162-0814 東京都新宿区新小川町4番1号　KDX飯田橋スクエア2階
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門担当　大通

◆教材：
・講義資料等教材のみの販売はいたしません。

◆【申込方法及び注意事項】
Payventより受付
https://app.payvent.net/embedded_forms/show/677cd2f73e303c266107cfb2
・聴講料は、1月31日（金）までにご入金をお願いします。
・聴講料のお支払いには、クレジットカード（Apple pay、Google pay含む）・銀行振込のいずれかがお使いいただけます。
・銀行振込の際の振込手数料は、各自でご負担いただきます。予めご了承ください。また、振込先の口座は申し込みごとに異なり、他の申し込みとまとめてのお支払いは出来かねます。
・銀行振込でのお支払期限は、原則としてお申し込みから3日以内です。ご入金が確認出来ない場合、こちらでキャンセル処理をさせていただきますのでご了承ください。
・お申込内容は、Payventより配信されるお申し込み完了メールからご確認いただけます。メールが届かない場合は、「payvent.net」からのメールを許可するように受信設定をお願いします。
・原則として，決済後はキャンセルのお申し出がありましても返金できませんのでご注意願います．
・本ページからのお申し込みについては，集会事業申込規約にご同意いただいたものとみなします．
・参加者による、講習会の静止画/動画撮影、録⾳は禁止です。
・当日の発表の⾳声、スライドの著作権は発表者に帰属します。
・資料の二次配布は禁止されています。

【領収書について】
・領収書のお宛名には参加者の氏名が自動で記載されます。ご所属先を宛名に追加する場合は申込フォームの”領収書のお宛名”欄に記載をお願い致します（こちらに氏名を入力しますと、宛名に氏名が重複しますのでご注意ください。
・領収書はPayventからのお支払い完了メールに記載されているURLよりダウンロードいただけます。

◆参加に関しての問合せ先：
日本機械学会　マイクロ・ナノ工学部門担当　大通千晴
E-mail：daitsu(at)jsme.or.jp　電話：03-4335-7614

◆内容についての問合せ先
矢菅　浩規
E-mail：yasuga.h(at)aist.go.jp　電話：050-3522-6320