はじめに マイクロ・ナノ工学部門10周年にあたって 2007年に部門横断型組織として設置されたマイクロ・ナノ工学専門会議の活動を経て、2012年に部門化したマイクロ・ナノ工学部門は10周年を迎えた。機械学会の部門活動にマイクロ・ナノスケールでの機械工学という観点で連携を深める機会…Read More

はじめに 近年、工業製品の高機能化や高付加価値化に対する需要が高まっており、その需要に応えるべく多くの研究が行われている。その中でも、材料表面にマイクロ～ナノメートルオーダの微細構造を創成することで従来材料の持つ特性を向上させたり、新たな機能を付与したりできる機能性表面創成技術が…Read More

研究背景 技術としての必要性と重要性 単結晶シリコン（Si）やゲルマニウム（Ge）、フッ化カルシウム（CaF2）などの光学結晶はサーモグラフィや車載ナイトビジョン、半導体露光装置などのレンズ基板材料として応用されているが、硬くて脆いという性質をもつため、高品質な光学表面に加工する…Read More

Introduction Ellipsoidal silicon mirrors based on the Kirkpatrick-Baez (KB) design are widely used in focusing of X-ray and neutron beams (1…Read More

はじめに 2Dから3D、ハードからソフト、そして個別生産へ 今、超精密・微細加工の分野において、ものづくり技術が大きく変わろうとしている。以前は、金型やレンズの超精密加工に用いられる機械加工や、センサやマイクロマシンの開発に用いられるフォトリソグラフィが主役であった。今でも、これ…Read More

はじめに 特有の超精密加工プロセスの必要性 ニオブ酸リチウム単結晶（LiNbO3以下LN）は、熱的化学的に極めて安定であり、かつ高い電気機械結合係数を持つことから、SAWフィルタなどに代表される各種弾性波素子や超音波デバイスとして使用されてきた歴史を持つ材料である（1）。これらの…Read More

はじめに 腕時計にはクオーツ式と機械式がある。クオーツ式腕時計は電池をエネルギー源として水晶振動子、IC、輪列を駆動する。一方、機械式腕時計は電池を使わず、バネをエネルギー源としてメカニカルな機構だけで動作するように構成されている。機械式腕時計は正確さではクオーツ式腕時計に劣るも…Read More