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セラミックスやダイヤモンドなどのような化学的に安定な材料を水溶液中に置き，レーザ照射することにより照射部分を高速に，かつ高品位に除去加工する方法．レーザ光のみの作用では，加工速度が小さい場合や，レーザ照射パワーを大きくするとクラックや割れ，変質層などが発生する場合などに有効である．アルカリ性水溶液中に置かれた材料にレーザ光を照射することにより，レーザ誘起化学反応が生じ，高品位・高速加工が可能となる．液濃度を変えた実験によるとアルカリ０パーセントの純水でも加工できている．
