加工物の平面形状は，理想的に正しい平面（幾何学的平面）と比較すると，多少なりとも狂っている．その狂いの大きさを平面度という．平面度は，対象物の平面を幾何学的平行二平面ではさんだときの最小間隔，と定義されている．しかし，実際の平面度測定では，幾何学的平面にできるだけ近く加工された定盤またはオプチカルフラットを用い，測定対象物の平面と比較しながら最大偏差値を求める．結果は，平面度<U>　</U>mmまたは平面度<U>　</U>μmと表示する．平面度は，真直度，真円度，円筒度などとともに，形状偏差の一種である．