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加工面の微小で不規則な凸凹を表面粗さといい，その幾何学的形状に関する量を求める測定器．表面の凸凹を触針でたどって求めた断面曲線，粗さ曲線で基準線からの偏差の数値で表す触針法が最も普及している．算術平均粗さ，最大高さ，凸凹の平均間隔，局部山頂の平均間隔のほか多くのパラメータを求めることができる．表面の凸凹とその上においた平面との間に生じる空間の容積を測る空間容積法や光学的方法がある．光学的方法には光切断法，光波干渉法，焦点位置検出法，反射散乱光分布検出法などがある．
