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工具のバフの表面にバフ研磨剤を塗りつけ，それを回転させて工作物を押付け，粗研磨，中研磨，仕上研磨を行う．工作物を手に持って回転するバフに押付ける簡易なバフ研磨から，手作業を排除し，また，研磨剤を自動供給する多量生産向けの自動バフ研磨にいたるさまざまなレベルのものがあり，装置化も進んでいる．ラッピングやポリシング用の研磨機にフェルトを張付けて研磨に用いる金相学的ポリシングは，このバフ研磨の一つである．
