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砥石（あるいは工作物）に押付け圧と振動を与え研磨能率を高めた固定砥粒方式の研磨盤．超仕上げを行うための専用の超仕上盤もあるが，はん用的には超仕上ユニットを旋盤や研削盤に取付けて利用する場合が多い．半導体や顕微鏡試料などの平面の精密仕上げには，回転砥石作業面に加工面を所定の圧力で押し付けながら，加工物に揺動と振動を与えるタイプの超仕上盤もある．研磨工具としてラッピングフィルム，ラッピングテープを用いたり，平面や球状面など特殊な面を仕上げるための種々のタイプの超仕上盤も工夫されている．
