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材料がエッチングされていく速度のことで，エッチャントの組成，濃度，温度，供給方法によって変化する．化学的なエッチングではエッチレートは一般に等方的であるが，単結晶のエッチングではエッチレートが結晶方位に依存する場合もある．
