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イオン源（イオン銃）で発生したイオンをビーム状に一方向に高真空中に引出し，電界によって加速し（イオン加速電圧)，材料表面に照射して加工する装置．イオン源としては，気中放電によるプラズマからイオンを取出すものや，表面効果を利用してイオンを取出す（金属表面に高い電界強度数十V/nmを発生させて，金属原子をイオン化する）ものがある．加工物に対しては，設置方向を可変にし，イオンの加工物への入射角（イオン入射角）を制御できるようにして，加工量を制御する必要がある．
