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イオンが固体物質に衝突すると，表面付近の原子と弾性衝突して反射（後方散乱）する場合もあるが，大部分は固体中の原子と衝突しながらエネルギーを失う．このとき，固体を構成する原子は，格子位置から，さらには，固体外まではじき飛ばされる．この固体外まで構成原子をはじき飛ばす現象（スパッタリング）をいう．また，これを用いる加工をスパッタエッチングとも称する．
