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走査型プローブ顕微鏡の一種.原子間力顕微鏡の技術を基に,探針の試料から受ける斥力が一定となるように制御しながら走査し,この時探針に作用する接線抗力を画像化する顕微鏡.カンチレバーのたわみを検出することによって斥力を制御し,またねじれを検出することによって接線抗力を測定する方法などが用いられる.