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面光源からの光がビームスプリッタによって二方向に分けられ，一方は参照面に入射し，もう一方は被検面に入射する．それぞれの面で反射して再びビームスプリッタに戻り両者が重ね合されて干渉させる干渉計．同じ傾きの部分が同じ明るさとなる等傾角干渉が得られる．
