目次
計算力学 バイオエンジニアリング 環境工学 産業・化学機械と安全 宇宙工学 技術と社会 材料力学 機械材料・材料加工 流体工学・流体機械 熱工学 エンジンシステム 動力エネルギーシステム 機械力学・計測制御 ロボティクス・メカトロニクス 情報・知能・精密機械 機素潤滑設計 設計工学・システム 生産加工・工作機械 FA（ファクトリーオートメーション） 交通・物流 マイクロ・ナノ 編集委員・執筆者 ~~DISCUSSION:off~~
放射光による反応ガスの分解促進，表面での吸着種の拡散促進の効果を利用することによって，より低温でかつ光照射領域のみに膜形成する選択性を持つ薄膜成長技術をいう．従来の薄膜形成プロセスが熱エネルギーを用いていたのに比べ，原子オーダで急しゅんな界面形成が可能になる点期待されている．
