走査型プローブ顕微鏡の一種．背後から臨界角以上の入射角をもって光を照射された試料表面には，通常の光学的伝ぱをせずに表面近傍に局在する「しみ出し光（エバネッセント光）」が生じる．光ファイバなどの誘電体を先鋭化し，かつ光の波長よりも小さな開口（数十nm）を設け，これを試料表面に近接させると，「光トンネリング現象」によってこの「しみ出し光」のエネルギーが探針に移動する．これを検出し，画像化する走査型顕微鏡で，光の回折限界を超えた高空間分解能で，屈折率分布などの光学特性やトポグラフィーなどを測定することができる．