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点光源からの光をコリメータによって平行光束とし，これを透過参照面（ハーフミラー）を通して被検面に当てて反射させ，この反射光と参照面での反射光とを重ねて干渉させる干渉計．干渉像をビームスプリッタによって観察面に導く．
