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SOR光のエネルギーを最適化して，試料から放出される光電子のエネルギー分析を行う光電子分光法，SOR光のエネルギーを数100eV変化させて試料表面から放出される蛍光X線，オージェ電子などの強度変化を測定し，フーリエ変換によって近接原子との原子間距離，配位数を測定するEXAFS（X線吸収微細構造解析）法，X線を試料すれすれに入射させて表面分析を行う全反射蛍光X線分析法などをいう．
