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高指向性のSOR光を超精密に加工された光学素子を用いてサブミクロンのビームを作り，これにより微小部の分析，結晶構造解析などを行う技術をいう．光学素子は①高精度回転だ円体ミラー，②ガラスキャピラリ，③多層膜コートSchwarzschild縮小光学系，④フレネルゾーンプレートで，おもに走査型顕微鏡（光電子，蛍光X線の検出）の開発をめざしている．
