目次
計算力学 バイオエンジニアリング 環境工学 産業・化学機械と安全 宇宙工学 技術と社会 材料力学 機械材料・材料加工 流体工学・流体機械 熱工学 エンジンシステム 動力エネルギーシステム 機械力学・計測制御 ロボティクス・メカトロニクス 情報・知能・精密機械 機素潤滑設計 設計工学・システム 生産加工・工作機械 FA（ファクトリーオートメーション） 交通・物流 マイクロ・ナノ 編集委員・執筆者 ~~DISCUSSION:off~~
半導体製造に用いられる検査装置の一つでフォトマスクあるいはレチクルと呼ばれるガラス基板上のパターンの寸法，形状や欠陥の有無を検査する装置．検査の仕方によって，チップ欠陥検査装置とデータ欠陥検査装置に大別できる．最近では，DRAMのように二次元的に規則性のある繰返しパターンを，ホログラム技術を応用して繰返しパターンの平均像と比較することにより，欠陥を調べるホログラフィック欠陥検査装置も開発されている．ウェーハあるいはマスク上に付着した異物を検査する装置を，異物検査装置ともいう．
