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走査型トンネル顕微鏡（STM）の基本要素技術である探針と試料とのすきま制御技術，探針の走査技術，画像処理技術，防振・断熱など外乱シールド技術を基に，光，磁気，熱，静電容量，電位などの各種物理量を測定できる走査型顕微鏡ファミリーの総称．STMに用いられる導電性の探針に替えて上記の物理量を，種々の気体中，液中などでも高分解能で検出できるマイクロセンサチップ，検出回路などを備えている．測定される物理量にもよるが，一般に100nm程度から数Åの空間分解能を有する．
