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感光剤（フォトレジスト）を塗布したウェーハに回路パターンを描画したフォトマスクを密着させて露光する露光装置．密着によるマスクやレジストのダメージを考慮して，マスクとウェーハを近接させて露光できるプロキシミティ露光装置も開発されている．
