目次
計算力学 バイオエンジニアリング 環境工学 産業・化学機械と安全 宇宙工学 技術と社会 材料力学 機械材料・材料加工 流体工学・流体機械 熱工学 エンジンシステム 動力エネルギーシステム 機械力学・計測制御 ロボティクス・メカトロニクス 情報・知能・精密機械 機素潤滑設計 設計工学・システム 生産加工・工作機械 FA(ファクトリーオートメーション) 交通・物流 マイクロ・ナノ 編集委員・執筆者 ~~DISCUSSION:off~~
レーザを光源とし,試料面上でレーザスポットをラスタ走査して,試料像を得るレーザ顕微鏡の一種.点光源と点検出器を用いることに特徴がある.例えば,光源の後段と検出器の前段にピンホールを設け,光路を制限する.通常の光学顕微鏡のそれより鉛直方向,面内方向の解像度を向上させることができる.特に焦点深度が極めて浅いことを利用して,サブミクロンオーダの表面形状測定あるいは試料内部の断面観測に用いられる.