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アクチュエータの入力が熱の場合の総称であり，形状記憶合金アクチュエータ，水素吸蔵合金アクチュエータ，熱膨張型アクチュエータ等がある．冷却速度が速いマイクロアクチュエータとしての利用が有利である．
