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変態温度付近の温度を操作して，そのひずみとひずみ回復力を制御して駆動するものでありTiNi合金が代表的材料として用いられる．基本構造はプッシュプル型とバイアスばね型とがある．応答速度が速くなるマイクロアクチュエータとしての利用が有利である．
