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気体あるいは液体分子（原子）が凝縮相を形成するとき，その過程で電子状態の結合（化学反応）を伴うものを化学蒸着あるいは化学凝縮という．この化学反応には気体（液体）分子間，気体-凝縮体分子間，凝縮体分子間（表面反応）の反応あるいはこれらの組合せがある．
