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容積形とターボ形に大別される．容積形では二葉形のロータを互いに逆回転させる二葉式や複数の可動ベーンを偏心ロータに取付け圧縮排気を行うベーン式，水の遠心力を用いる水封式，雄，雌一対のねじ形ロータによるねじ式，渦巻形の揺動部と固定部からなるスクロール式などがある．比較的高真空の用途には回転翼形，カム形，揺動ピストン形の油回転真空ポンプが用いられる．ターボ形では遠心式と軸流式があり，分子流域の高真空用途には軸流分子ポンプが用いられる．
