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構造的には往復圧縮機と同じであるが圧縮機に比べて圧力比が高く，すきま容積を小さくする必要がある．自動弁式と滑り弁式があり，前者ではシリンダカバーに小型の自動弁がとりつけられる．滑り弁式は主ピストンのクランク軸と位相を異にするクランクによってシリンダ側面に設けた滑り弁を駆動するもので，吐出し行程の終わりの残気を複動シリンダの反対側に連結させて吸入効率を向上させるため，高真空が得られる．往復式は使用範囲が広く，効率が高いが，他の形式に比べ大型である．
