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結晶によるX線の回折条件を与えるブラッグの式を利用し,結晶格子をゲージ長として弾性ひずみを測定し,このひずみより弾性力学の関係を用いて応力を求める方法である.この方法では,部材を破壊せずに残留応力の測定ができるので,鉄鋼材料の熱処理・加工の管理などに用いられるばかりでなく,広く金属,セラミックスなどの多結晶材料の残留応力の測定のために使用されている.この方法で測定される応力は,表面層の深さ数十μmの平均値であり,また,複合材料などでは各構成相の応力が求められる.