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電気抵抗発熱体を熱源とし，分子密度の小さい真空雰囲気中で材料を熱処理する炉のこと．主要部は断熱壁を囲う真空容器，真空ポンプ，加熱体，不活性ガス装置などで構成される．光輝熱処理ができるなど特徴がある．
