種々の加工液（切削液，研削液，放電加工液など）にメガヘルツ帯域の超音波振動を重畳することで，加工特性を向上させることができる．硬脆材の超精密加工に適用することで，工具寿命，加工面性状，加工精度などが大幅に向上することが知られている．