物質がレーザ光を吸収し，そのエネルギーによって起される化学反応．電子状態の励起に起因する化学反応，赤外多光子吸収に起因する化学反応，レーザ光の熱作用に起因する化学反応などがあり，レーザエッチング時の反応速度を大きくできる．