いくつかの加工手法を組合せて構成した加工プロセスのことで，加工現象そのものが複合的であるものと，一つの装置上で複数の手法を順次行うことで総合的に複合効果を上げるものとがある．前者の代表的なものとしては，電解加工現象と砥粒擦過現象の複合による電解研削法，またレーザによる加熱と化学腐食加工（エッチング）を組合せたレーザアシストエッチング（LAE）などがある．また，後者の例としては放電加工によるコア作成と電鋳の組合せによるマイクロノズル作成法などがある．