高パワー密度エネルギービームを加工エネルギー源として利用する加工機の一種．電子ビーム加工は電子銃の陰極から放出された熱電子を電界レンズで収束して加工対象物に照射し，対象物に吸収された電子が熱源となって加工が行われるものをいう．エネルギー源が電子であるので加工プロセスには真空環境が必要である．ビームのフォーカス制御，偏向制御および出力制御が自由にできるので加工場所や加工条件の設定を任意にかつ迅速にできるのが特長である．表面焼入れ，溶接，穴あけに利用されている．