X線露光用のマスク．X線を良く透過する厚さ1～3μmの基板（SiN，SiC，ダイヤモンド，ポリイミドなど）を支持体に張付け，X線を通さないマスク材料（Au，Ta，Wなど，厚さ0.5～1μm）で回路パターンを描いたもの．