測定対象とする面の断面曲線から，所定の波長より長い表面うねり成分を位相補償型の高域フィルタで除去した曲線．断面曲線から粗さ曲線を作り出すときに用いる位相補償型高域フィルタの利得（振幅伝達率）が50%になる周波数に対応する波長を粗さ曲線のカットオフ値という．アナログフィルタでは波形ひずみが起こるので位相補償型フィルタを用いる．表面粗さを表す各種パラメータはこの粗さ曲線から求める．