動きを発生させる小さな要素で，マイクロマシンや微小電気機械システム（MEMS）と呼ばれる小さな機械，あるいは運動要素が全体に分布したやわらかく動く機械などに必要とされる．特にセンサや回路とともにシリコン基板上に形成できる静電マイクロアクチュエータの研究がさかんで，光の偏向などにこれを用いた光制御デバイスや静電サーボ型加速度センサなどが開発されている．このほか，圧電，電磁，熱膨張，空気圧などによるものが研究されており，速く大きく動き，大きな力を発生するマイクロアクチュエータの実現が待たれている．