英語では，Micro Electro Mechanical Systems であり，MEMSと略される．微細加工技術で製作され，電気的な回路要素と，機械的な構造（可動構造や3次元構造）を有するシステムである．製作に用いられる微細加工技術としては，成膜，リソグラフィー，エッチングなどを主とする加工精度が数十µm以下の加工法が代表的である．電気的な回路要素と機械的な構造を有するため，さまざまな物理量・化学量を入出力とするセンサやアクチュエータに用いられる．例えば，加速度を静電容量変化として測定するMEMS加速度センサや，光を入出力とし光の方向を変えるMEMSミラーなどがある．近年では，バイオ・医療応用も盛んに行われており，細胞やたんぱく質，DNAを対象としたセンサやマイクロ流体チップなどもある．