露光装置

　半導体の回路パターンをウェーハ上に塗布された感光剤（フォトレジスト）に転写する装置の総称．転写のための光源，露光光学系および基板に既存する前工程の回路パターンに対して重ね合せる（アライメント）機能を備えた装置．装置は，光源の種類あるいは回路パターンの投影方法により次のように分類される．