点光源からの光をコリメータによって平行光束にし，ビームスプリッタによって二つの光束に分け，一方を参照光としもう一方を被検物に入射させて両方の光束をミラーとビームスプリッタによって重ね合せ干渉させる干渉計．透過物による波面の変化を計測する場合に使用される．
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