点光源からの光をコリメータによって平行光束とし,これを透過参照面(ハーフミラー)を通して被検面に当てて反射させ,この反射光と参照面での反射光とを重ねて干渉させる干渉計.干渉像をビームスプリッタによって観察面に導く.