薄膜ヘッド

　セラミック基板上に金属磁性膜で環状磁気回路を形成したヘッド．コイルを含めフォトリソグラフィで形状加工を行うため，磁気回路を小さくでき，高性能化が可能．セラミック基板上でバッチ形成する．