走査型プローブ顕微鏡の一種.極めて柔なカンチレバーの端に鋭い探針を形成し,この探針を試料表面に接触させながら面内方向に走査し,高感度な変位センサによってカンチレバーの変位を検出することで,探針に作用するファンデルワールス力(~10-11N)などの極微弱な相互作用力の分布やトポグラフィーを画像化する顕微鏡.