光の波動性による干渉という現象を利用して,光学素子の面精度とか波面の変化を計測するための装置.近年,可干渉距離が長いレーザが発明され,可視領域のレーザを使うことによって干渉計の取扱いがきわめて容易になった.したがって最近の干渉計は,ほとんどがレーザ干渉を採用している.