LIGAプロセス

　LIGAはドイツ語のLIthographie, Gavanoformung und Abformung (lithography, gavanotorming and molding)に由来する．X線リソグラフィーの場合より短波長のX線を用いてPMMA（ポリメチルメタアクリレート樹脂）のレジストなどを数100μm程度の深部まで露光し，それに電気めっき，プラスチックモールディングを施すことによってミクロンオーダの微小部品〔ウラン濃縮用分離ノズル（図），歯車，加速度センサ，マイクロ分光器など〕を大量生産する技術をいう．